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在微納制造領域,光刻技術是制造高精度器件的核心工藝。無掩模納米光刻機以其高靈活性、高精度和高效性,成為現代微納制造的“自由之筆”。本文將探討無掩模納米光刻機的工作原理、技術特點及其在科技發展中的重要意義。一、無掩模納米光刻機的工作原理無掩模納米光刻機是一種無需使用物理掩模即可實現高精度圖案化的光刻設備。其核心原理是通過計算機控制的激光束或電子束直接在光刻膠表面進行曝光,形成所需的微納結構。具體工作流程如下:圖案設計通過計算機軟件設計所需的微納圖案,并將其轉換為光刻機可識別的數...
激光直寫技術,作為現代微細加工領域的一顆璀璨明珠,正在逐步改變我們的科技與生活。這一技術利用強度可變的激光束,對基片表面的抗蝕材料實施精確的變劑量曝光,從而在顯影后形成所需的浮雕輪廓。它不僅在衍射光學元件(DOE)的制作上大放異彩,更在微電子制造、半導體制造、顯示器制造以及生物醫學等多個領域展現出強大的應用潛力。激光直寫技術的工作原理相當精妙。它依賴于計算機控制的高精度激光束掃描系統,該系統能夠直接在光刻膠上曝光并寫出設計的任意圖形。這一過程中,計算機產生的微光學元件或VLS...
激光直寫設備是一種在材料科學領域廣泛應用的工藝試驗儀器,其主要功能和特點可以歸納如下:一、定義與原理激光直寫設備利用強度可變的激光束對基片表面的抗蝕材料實施變劑量曝光,顯影后在抗蝕層表面形成所需的浮雕輪廓。這一技術結合了計算機控制與微細加工技術,為衍射光學元件(DOE)的設計和制作提供了極大的靈活性,制作精度可以達到亞微米量級。二、應用領域1.微電子制造:激光直寫設備在微電子制造領域具有重要地位,可用于制造微小電子零件、硅片和集成電路等微型電子元件。通過高精度的激光束掃描,直...
近期,為紀念《中國激光》建刊50周年,該刊特設立了激光加工專題。華維納創始人應邀在該刊物上發表了題為“具有超衍射和多受體的新型納秒激光直寫研究進展”的特邀文章,介紹了新型激光直寫在超分辨加工和多受體加工方面取得的最新研究進展,以及華維納在新型激光直寫設備的產業化情況,受到了廣大激光加工領域從業人員的廣泛關注,詳見文章鏈接https://www.chem17.com/st567305/info_673560.html。華維納的新型激光直寫設備已為廣大科研人員的前沿研究和各種微納...
在科技日新月異的今天,納米光電子設備以其的微觀世界魅力,正悄然改變著信息處理、能源轉換乃至生物醫藥等多個領域的面貌。這些基于納米技術構建的光電子器件,不僅體積小巧、更以其高效能、低能耗的特點,著未來技術的發展方向。本文將深入探討納米光電子設備的使用方法與關鍵注意事項,助您安全、高效地駕馭這一前沿科技的瑰寶。一、納米光電子設備概述納米光電子設備,是利用納米材料或結構實現光與電之間轉換、傳輸與調控的一類設備。它們包括但不限于量子點太陽能電池、納米激光器、光子晶體管等,廣泛應用于光...